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图5,图6表明,随氧化时间的延长,硅碳棒结合材料单位表面积的氧化增重量逐渐增加,强度损失率逐渐增加,但到了氧化后期,增重量增加和强度损失率的增加速度逐
在配料中加入少童Yz03,研究其对材料显微结构、力学性能、抗氧化性和抗热震性的影响。发现添加Yz0,可明显改善Sialon结合硅碳棒?的杭氧化和热震能力,提高材料常温杭折、
键取代,硅碳棒从而形成-Sialon固溶体。从图2可见-Sialon仅存在于SipN-AIZO'AlN连线上。其分子式为Sib_ZA120ZN:一:(0<Z<4.2),即单相3'-Sialon应该是AIz03'AIN同时溶于Si5N
小同抛光压力下硅碳棒晶片的MRR如图6所示,抛光后表面形貌如图7所示。根据图6可知,晶片的MRR随着抛光压力的增大而增大。当抛光压力分别为4 kg,8kg,10 kg时,MRR分别为64 n
详情本研究将硅碳棒从化学作用和机械作用相平衡的角度出发,探索紫外光辅助作用下硅碳棒CMP加工过程的最佳加工参数。创新地利用电化学实验探测小同pH值Hz0:浓度、Fez浓度以及紫
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